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QEC-electron collisions

性能特点:s 弹性碰撞、动量转移;s 电子转动激发;s 高弹性截面;s 淬硬截面;s 电子解离贴附;s 电子碰撞电离。

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性能特点:


s 弹性碰撞、动量转移;

s 电子转动激发;

s 高弹性截面;

s 淬硬截面;

s 电子解离贴附;

s 电子碰撞电离。


解决方案:


s 电子碰撞截面计算;

s 新型分子量计算(如:沉积的先驱物);

s 光致电离计算;

s 含重原子(Ti, In, I, Ga等)的分子截面计算;

电离反应;

s 光致电离等。


s 量子化学;

s 半导体;

s 等离子体辅助蚀刻和沉积、等离子体辅助燃烧;

s 电动航天器推进;

s 生物应用、等离子体应用生态研究;

s 加工工业、冶金、水泥、炼油和石化、能源、电力、航空航天、航海等。