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挑战：光子器件的加工，基于最高达数百纳米分辨率这一单一特征，主要应用于可见光和红外光谱分析。解决方案：应用超高聚焦（高达1.4NA），低收缩比的SZGel材料和先进的制造工艺，能够重复生产具备亚200纳米特征、亚...

挑战：

光子器件的加工，基于最高达数百纳米分辨率这一单一特征，主要应用于可见光和红外光谱分析。

解决方案：

应用超高聚焦（高达1.4NA），低收缩比的SZGel材料和先进的制造工艺，能够重复生产具备亚200纳米特征、亚400纳米周期的结构。

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