挑战:制造相对较大(从数十μm到cm),同时具有精细(数百nm)内部特征的部件。 解决方案:在制造过程中实时调整数值孔径(NA),这为即时的分辨率控制提供了一种简便的方法。因此,体积大且不需要高分辨率(>1μm...
挑战:
制造相对较大(从数十μm到cm),同时具有精细(数百nm)内部特征的部件。
解决方案:
在制造过程中实时调整数值孔径(NA),这为即时的分辨率控制提供了一种简便的方法。
因此,体积大且不需要高分辨率(>1μm特征尺寸)的部件可以使用较低的NA(<0.8)来制造;然而,制造精细的特征(小于1μm)是选择使用具有较高的NA(0.8 <)。