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激光微加工方案五

挑战:在整体规模相当大(mm-cm)的结构中精细结构(保真度nm-μm)加工。这些组件在机械上必须坚固,并且能透过从紫外到红外的宽光谱范围。解决方案:材料熔断石英(机械坚固、且可以透过从紫外到红外的宽泛光谱范...

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挑战:

在整体规模相当大(mm-cm)的结构中精细结构(保真度nm-μm)加工。

这些组件在机械上必须坚固,并且能透过从紫外到红外的宽光谱范围。


解决方案:

材料熔断石英(机械坚固、且可以透过从紫外到红外的宽泛光谱范围),工艺为选通激光蚀刻。另外由于制造中熔断石英不会发生收缩变化,加工的产品与原型偏差极小,并且对可以加工的产品的尺寸大小几乎没有限制。



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