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激光微加工方案十一

挑战:需具备不同形状和尺寸的微流体系统内部部件加工。 解决方案:可选激光蚀刻技术的使用,使得通过可一个技术步骤雕刻系统的所有组件成为可能。技术上通过熔融二氧化硅来制造微流体系统,结构具备宽广、清晰的窗...

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挑战:

需具备不同形状和尺寸的微流体系统内部部件加工。

 

解决方案:

可选激光蚀刻技术的使用,使得通过可一个技术步骤雕刻系统的所有组件成为可能。

技术上通过熔融二氧化硅来制造微流体系统,结构具备宽广、清晰的窗口,且具备光学和化学惰性,机械稳固等特性。


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