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激光微加工方案十九

挑战:片上实验室加工,它能够在液体中单独(无需额外的电源)分离并将液体中的微粒(尺寸由数μm到百μm)传送到不同出口。 解决方案:运用二合一加工技术,第一通过激光烧蚀能够快速生产玻璃槽,同时在槽内使用3D...

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挑战:

片上实验室加工,它能够在液体中单独(无需额外的电源)分离并将液体中的微粒(尺寸由数μm到百μm)传送到不同出口。

 

解决方案:

运用二合一加工技术,第一通过激光烧蚀能够快速生产玻璃槽,同时在槽内使用3D激光光刻生成任意形状的细孔3D滤波器。最后整个系统通过激光焊接密封。

 


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