纳米定位

带有同步电流扫描仪的线性平台

运行

准确率

分辨率

（最小步长）

最高速度

XY

110mm

± 300nm

1nm

350mm/s

Z

60mm

± 275nm

2nm

200mm/s

光束传送与控制

功率控制：声光调制器+电动衰减器

功率监测：集成功率计

聚集光学器件：显微镜物镜组—0.4-1.4NA

（可根据客户要求进行调整）

软件

灵活性：可对结构设计和许可的制造模块进行免费编译

1、完全控制相关器件（指南或用户定义脚本）；

2、内部脚本语言定义显微结构，能够调控所有相关器件和制造参数，包括：系统控制命令、数学函数、条件句、周期、逻辑算符、变量等；

3、能够进行STL文件导入：自动旋转、缩放、剪切；

4、自定义结构的3D预览；

5、样品坐标系校准（倾斜和旋转）；

6、IFoV支持：电流扫描仪和伺服定位平台能够自动同步运行，从而实现精准拼接；

7、自动衡量加工时间；

8、自动校正激光功率

支持

为了快速启动，我们为客户提供全面培训，包含以下规范化的支持：

1、质保期12个月；

2、在客户现场进行初始安装（2个工作日）；

3、在客户现场为两名研究员提供培训和初始安装服务（4个工作日）；

4、进行2个工作日的实地探访，为客户提供额外的培训或支持；

5、提供在线咨询或培训服务（10小时）

6、在线服务（在工作时间内，提供4个小时的解难答疑）